ZP3-4 微納探針臺(tái)
ZP3-4微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。
ZP3-4微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。
產(chǎn)品參數(shù)
探針數(shù)量:4個(gè)探頭,每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度:每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)(X、Y、Z三自由度);
運(yùn)動(dòng):壓電驅(qū)動(dòng);
步進(jìn)速度:2 mm/s(X,Y,Z);
運(yùn)動(dòng)范圍:20x20mm(X,Y),10mm(Z);
運(yùn)動(dòng)分辨率:1 nm (X、Y),10nm (Z);
探針規(guī)格:針柄直徑為0.51mm(0.020’’);
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定
ZP3-4微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂,每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。
使用場(chǎng)景多樣化
ZP3-4微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動(dòng)行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。
完善的技術(shù)解決方案
Z P 3 - 4 微 納 探 針 臺(tái) 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。
直觀、方便
ZP3-4微納探針臺(tái)通過手柄控制,具有多級(jí)宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動(dòng),以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,準(zhǔn)確。
高度集成
ZP3-4微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測(cè)量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。
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