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    探針臺及低溫系統每一部工程作品都精雕細琢

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    SEM納米探針臺

    SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

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      SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

      SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

      三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

      SEM納米探針臺參數信息.jpg

      ? 主要參數

      ▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場發射SEM,保證電鏡安全性

      ▲ 探針驅動方式:PZT壓電陶瓷

      ▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm

      ▲ 細調行程:3um

      ▲ 細調最小步長:≤1nm

      ▲ 控制模式:開環/閉環

      ▲ 探針數量:最多支持8探針

      ▲ 制冷系統(選配功能):熱臺200℃;冷臺-60℃(TEC);冷臺-170℃(液氮)

      主要配置

      壓電探針臺、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環選配)、壓電冷臺(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等

      • 結構緊湊,高剛性

      • 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

      • 內部根據需求可增加位置反饋 

      • 應用:納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

      • 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等



    應用案例

      SEM納米探針臺應用——對二維材料的電學測量1.jpg        SEM納米探針臺應用——對器件的電學測量2.jpg

                                      對二維材料的電學測量                                                                                對器件的電學測量

      SEM納米探針臺應用——對芯片的電學測量4.jpg        SEM納米探針臺應用——對一維材料的電學測量3.jpg

                                         對芯片的電學測量                                                                                    對一維材料的電學測量


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