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    壓電物鏡NF100LA

    采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。

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      采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內置精移傳感器進行全閉環的位置反饋,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。

      產品參數

      壓電物鏡NF100LA

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