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    SEM原位解決方案每一部工程作品都精雕細琢

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    SEM納米探針臺

    SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

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      SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

      SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

      三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

      產品應用

      單個探針指標

      外形尺寸:L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm

      X/Y/Z軸行程:±10mm

      X/Y/Z軸速度:~3mm/s

      X/Y/Z軸運動分辨率:<0.5nm

      Z軸最大負載:270g

      標準配置包含:

      探針主體

      適配SEM/FIB的底座

      過真空法蘭

      探針控制器及控制手柄

      選配:

      低溫、高溫樣品臺

      光纖夾頭和光纖真空饋通

      EBIC套件

      產品特點

      結構緊湊,高剛性

      零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統 

      壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

      內部根據需求可增加位置反饋 

      應用:納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

      適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

      SEM納米探針臺

      SEM納米探針臺

      應用案例

      電容樣品測試

      電容樣品測試

      碳纖維測試

      器件測試

      薄層材料測試

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