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    探針臺及低溫系統每一部工程作品都精雕細琢

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    室溫自動探針臺 TZ-H-06

    室溫自動探針臺,高可靠性探針臺系統,主要應用在半導體/微電子, 電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

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      室溫自動探針臺,高可靠性探針臺系統,主要應用在半導體/微電子, 電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

      旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點,該平臺配備高精度位移臺,可實現X、Y、Z、 R等方向自動調整,各移動軸可實現±0.005mm以下的精度定位,對陣列型測量特征可實現快速準確的測量。經濟實用,穩定性強,可升級擴展,操作方便是本產品的核心價值,在各大高校、研究所及半導體行業應用廣泛。

      產品特征

      1、標配4個探針臂,可提供4-8個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm,調節精度優于5um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;

      2、顯微鏡模塊:連續變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物鏡時), 視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭,帶同軸照明和環形照明,帶機械調焦和光學調焦;

      3、樣品座采用電機驅動,可實現快速于目鏡下尋找樣品,調節范圍:100mm*100mm*15mm*±180°。

      室溫自動探針臺產品參數.jpg

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