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    臺階儀 每一部工程作品都精雕細琢

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    全自動臺階儀 JS3000B

    全自動臺階儀 JS3000B 國產全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結構,提供穩定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區,方便定位特征區域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

    服務電話:400-966-2800
    服務手機:15756003283(微信同號)

      國產全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結構,提供穩定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區,方便定位特征區域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。 

      特點

      量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比

      應用范圍

      ▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

      ▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

      ▲ 各式薄膜等應力測量

      ▲ 3D掃描成像

      ▲ 計劃任務和多點掃描

      ▲ 批量測試晶圓,批量處理數據等

      系統組成

      ▲ EFEM(LP+ROBOT+ALINGER)

      ▲ JS300B

      選配品

      ▲ 高度校準標樣

      ▲ FFU模塊

      ▲ 靜電消除模塊

      ▲ E84接口

      技術參數

      技術參數

      軟件界面

      軟件界面

      掃描圖

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      18nm樣品

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      68um樣品

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