<rt id="kc4i4"></rt>
  • <rt id="kc4i4"><tr id="kc4i4"></tr></rt>

    其他每一部工程作品都精雕細(xì)琢

    當(dāng)前位置: 主頁 > 產(chǎn)品 > 其他

    電子束光刻機(jī)

    電子束光刻機(jī) 澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(jī)(EBL)采用場發(fā)射電子 槍,配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。

    服務(wù)電話:400-966-2800
    服務(wù)手機(jī):15756003283(微信同號(hào))

      澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(jī)(EBL)采用場發(fā)射電子槍,配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統(tǒng)標(biāo)配高精度激光干涉樣品臺(tái),允許用戶實(shí)現(xiàn)大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半導(dǎo)體、微電子、光子、量子研究領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

      產(chǎn)品特色

      ▲ 激光干涉樣品臺(tái):先進(jìn)的激光干涉樣品臺(tái),滿足大行程高精度拼接和套刻需求

      ▲ 場發(fā)射電子槍:高分辨場發(fā)射電子槍是光刻質(zhì)量的重要保證

      ▲ 圖形發(fā)生器:在保證超高速掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)超高分辨率圖案繪制

      樣品臺(tái)指標(biāo)

      ▲ 標(biāo)配:激光干涉樣品臺(tái)

      ▲ 樣品臺(tái)行程:≥105 mm

      ▲ 拼接精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)

      ▲ 套刻精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)

      電子槍及成像指標(biāo)

      ▲ 肖特基場發(fā)射電子槍:加速電壓20V~30kV;旁側(cè)二次電子探測器和鏡筒內(nèi)電子探測器

      ▲ 圖像分辨率:≤1 nm @ 15 kV;≤1.5 nm @ 1 kV

      ▲ 束流密度:> 7000A/cm2;電子束流≥100nA

      ▲ 最小束斑尺寸:≤2nm

      光刻指標(biāo)

      ▲ 電子束閘:上升沿<100ns

      ▲ 寫視場:≥500×500 um

      ▲ 最小單次曝光線寬:<15nm(同時(shí)取決于工藝條件)

      ▲ 掃描速度:≥20MHz

      圖形發(fā)生器參數(shù)

      ▲ 控制核心:高性能FPGA

      ▲ 停留時(shí)間最小增量:10ns

      ▲ 最大掃描速度:50MHz

      ▲ 圖形文件格式:GDSII、DXF、BMP等

      ▲ D/A分辨率:20位

      ▲ 法拉第杯束流測量:包含

      ▲ 支持的寫場大小:50um~500um

      ▲ 臨近效應(yīng)校正:可選項(xiàng)

      ▲ 束閘支持:5V TTL

      ▲ 激光干涉位移臺(tái):可選項(xiàng)

      ▲ 掃描方式:順序掃描(Z型)、循環(huán)掃描(S型)、螺旋型掃描等多種矢量掃描模式

      ▲ 曝光模式:支持場校準(zhǔn)、場拼接,支持套刻,支持多圖層自動(dòng)曝光

      ▲ 外接通道支持:支持電子束掃描、工件臺(tái)移動(dòng)、束閘通斷、二次電子檢測

      選配附件

      ▲ 配套UPS不間斷電源

      ▲ 配套主動(dòng)減震臺(tái),最低自然頻率2Hz

      以上就是澤攸科技介紹的電子束光刻機(jī),關(guān)于產(chǎn)品價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。

      電子束光刻機(jī)

    TAG:

    產(chǎn)品推薦

    主站蜘蛛池模板: 99久9在线|免费| 亚洲欧美天堂网| 一级性生活毛片| 精品无码久久久久久久动漫| 高清中文字幕在线| 用我的手指来扰乱吧全集在线翻译 | 粗大的内捧猛烈进出视频| 成人免费看片又大又黄| 台湾三级全部播放| 一区在线免费观看| 91chinese在线| 欧美性受xxxx白人性爽| 天堂中文8资源在线8| 伊人久久大香线蕉综合7| 99久久综合狠狠综合久久| 永久不封国产毛片AV网煮站| 好色先生视频tv下载| 伊人久久大线蕉香港三级| 99久久免费国产精精品| 欧美日韩一区二区三区免费不卡| 天天摸天天爽天天碰天天弄| 亚洲色婷婷一区二区三区| 888奇米影视| 最近中文字幕更新8| 国产免费av片在线观看| 亚洲一区中文字幕| 麻豆精品不卡国产免费看| 果冻传媒视频在线观看| 国产在线精品一区二区不卡| 亚洲ⅴ国产v天堂a无码二区| 99精品小视频| 欧美成人在线视频| 国产精选91热在线观看| 九色综合狠狠综合久久| 茄子视频国产在线观看| 娇妻校花欲乱往事叶子| 亚洲精品tv久久久久久久久| 99精品国产综合久久久久五月天 | 日本a级视频在线播放| 午夜宅男在线永久免费观看网| 中文字幕亚洲日本岛国片|