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    電子束光刻機

    電子束光刻機 澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(EBL)采用場發(fā)射電子 槍,配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實現(xiàn)對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。

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      澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(EBL)采用場發(fā)射電子槍,配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實現(xiàn)對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統(tǒng)標配高精度激光干涉樣品臺,允許用戶實現(xiàn)大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半導體、微電子、光子、量子研究領域發(fā)揮重要作用。

      產(chǎn)品特色

      ▲ 激光干涉樣品臺:先進的激光干涉樣品臺,滿足大行程高精度拼接和套刻需求

      ▲ 場發(fā)射電子槍:高分辨場發(fā)射電子槍是光刻質(zhì)量的重要保證

      ▲ 圖形發(fā)生器:在保證超高速掃描的同時實現(xiàn)超高分辨率圖案繪制

      樣品臺指標

      ▲ 標配:激光干涉樣品臺

      ▲ 樣品臺行程:≥105 mm

      ▲ 拼接精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)

      ▲ 套刻精度:優(yōu)于50nm(平均值+ 1σ)

      電子槍及成像指標

      ▲ 肖特基場發(fā)射電子槍:加速電壓20V~30kV;旁側(cè)二次電子探測器和鏡筒內(nèi)電子探測器

      ▲ 圖像分辨率:≤1 nm @ 15 kV;≤1.5 nm @ 1 kV

      ▲ 束流密度:> 7000A/cm2;電子束流≥100nA

      ▲ 最小束斑尺寸:≤2nm

      光刻指標

      ▲ 電子束閘:上升沿<100ns

      ▲ 寫視場:≥500×500 um

      ▲ 最小單次曝光線寬:<15nm(同時取決于工藝條件)

      ▲ 掃描速度:≥20MHz

      圖形發(fā)生器參數(shù)

      ▲ 控制核心:高性能FPGA

      ▲ 停留時間最小增量:10ns

      ▲ 最大掃描速度:50MHz

      ▲ 圖形文件格式:GDSII、DXF、BMP等

      ▲ D/A分辨率:20位

      ▲ 法拉第杯束流測量:包含

      ▲ 支持的寫場大小:50um~500um

      ▲ 臨近效應校正:可選項

      ▲ 束閘支持:5V TTL

      ▲ 激光干涉位移臺:可選項

      ▲ 掃描方式:順序掃描(Z型)、循環(huán)掃描(S型)、螺旋型掃描等多種矢量掃描模式

      ▲ 曝光模式:支持場校準、場拼接,支持套刻,支持多圖層自動曝光

      ▲ 外接通道支持:支持電子束掃描、工件臺移動、束閘通斷、二次電子檢測

      選配附件

      ▲ 配套UPS不間斷電源

      ▲ 配套主動減震臺,最低自然頻率2Hz

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