等離子體修飾系統(tǒng)
等離子體修飾系統(tǒng),利用卓聚自創(chuàng)的三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),在藍(lán)寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。
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