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在掃描電鏡（SEM）中，掃描模式 是決定如何對(duì)樣品表面進(jìn)行電子束掃描的設(shè)置。不同的掃描模式適用于不同的應(yīng)用需求，比如成像、分析或特定表面特征的觀察。以下是一些常見的掃描模式及其設(shè)置方法：

常見的掃描模式：

標(biāo)準(zhǔn)掃描模式（Standard Scanning Mode）

描述： 這是常見的掃描模式，電子束按一定順序掃描樣品表面，并通過(guò)不同的探測(cè)器收集信號(hào)生成圖像。

應(yīng)用： 適用于常規(guī)成像和觀測(cè)。

設(shè)置方法：掃描方式： 設(shè)置掃描線的數(shù)目（如 512×512 或 1024×1024），調(diào)整掃描速度（例如慢速掃描用于高分辨率成像，快速掃描用于快速成像）。

電子束的掃描方式： 選擇 點(diǎn)掃描 或 線掃描，點(diǎn)掃描用于高分辨率，而線掃描適用于快速觀察。

分段掃描模式（Frame Scan Mode）

描述： 通過(guò)在樣品上逐幀掃描，適用于需要更高對(duì)比度和細(xì)節(jié)的圖像。

應(yīng)用： 用于生成較為細(xì)致的圖像，適用于較小區(qū)域的高分辨率成像。

設(shè)置方法：幀數(shù)： 設(shè)置每幀掃描的時(shí)間、幀數(shù)，優(yōu)化圖像的信噪比。

點(diǎn)間距和掃描速度： 調(diào)整點(diǎn)間距和掃描速度以平衡圖像分辨率與處理時(shí)間。

長(zhǎng)時(shí)間曝光模式（Long Exposure Mode）

描述： 通過(guò)較長(zhǎng)的曝光時(shí)間獲得更清晰、對(duì)比度更高的圖像。

應(yīng)用： 適用于低對(duì)比度樣品或需要細(xì)節(jié)的圖像。

設(shè)置方法：曝光時(shí)間： 設(shè)置更長(zhǎng)的曝光時(shí)間，適用于低對(duì)比度或高分辨率成像。

掃描速率： 通常會(huì)選擇較慢的掃描速率以增強(qiáng)信號(hào)。

隨機(jī)掃描模式（Random Scan Mode）

描述： 電子束不按照規(guī)則的路徑掃描樣品，而是以隨機(jī)順序移動(dòng)。這種模式常用于模擬或分析非常復(fù)雜的樣品。

應(yīng)用： 適用于一些特殊的樣品，如大樣品或需要隨機(jī)分布電子束的實(shí)驗(yàn)。

設(shè)置方法：電子束的路徑設(shè)定： 選擇隨機(jī)掃描方式，通常可以調(diào)節(jié)掃描時(shí)的電子束加速電壓。

高速掃描模式（High-Speed Scan Mode）

描述： 提高掃描速度，適合大面積的快速觀察。

應(yīng)用： 快速獲取大范圍的圖像，適用于需要快速定位感興趣區(qū)域的情況。

設(shè)置方法：掃描速率： 設(shè)置為較高的掃描速度（例如：1-10 ms/點(diǎn)），以縮短成像時(shí)間。

分辨率設(shè)置： 在提高速度的同時(shí)，合理降低分辨率，以確保圖像質(zhì)量。

掃描模式的設(shè)置步驟：

選擇掃描模式：

在 SEM 的控制面板中，找到 “掃描模式” 或 “掃描設(shè)置”（通常在成像或圖像獲取模塊中）。

根據(jù)需要選擇合適的模式（如標(biāo)準(zhǔn)掃描、框架掃描等）。

調(diào)整掃描區(qū)域：

設(shè)置要掃描的區(qū)域大小。通常，掃描區(qū)域的設(shè)置包括 樣品表面區(qū)域的尺寸，并且可以通過(guò) 電子束探頭 的調(diào)整，選擇區(qū)域的大小。

調(diào)整掃描分辨率：

調(diào)整 掃描分辨率（如 512×512、1024×1024），這將影響圖像的清晰度和采集的時(shí)間。

高分辨率會(huì)導(dǎo)致掃描時(shí)間增加，但提高圖像質(zhì)量。

設(shè)置掃描速度：

設(shè)置 掃描速率，即掃描一個(gè)點(diǎn)所需的時(shí)間。選擇較慢的掃描速度通常能獲得更高的圖像質(zhì)量，但掃描時(shí)間會(huì)增加。

調(diào)節(jié)電子束參數(shù)：

根據(jù)選擇的掃描模式，調(diào)整 加速電壓、束流強(qiáng)度 和 探測(cè)器類型。不同的設(shè)置會(huì)影響樣品表面電子與探測(cè)器的交互，從而影響圖像質(zhì)量。

觀察圖像反饋：

在設(shè)置完成后，實(shí)時(shí)查看圖像，進(jìn)行必要的調(diào)整。使用 聚焦控制 和 對(duì)比度調(diào)節(jié)，確保圖像清晰無(wú)失真。

以上就是澤攸科技小編分享的如何設(shè)置掃描電鏡的掃描模式。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。