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    掃描電鏡的樣品需要做真空處理嗎?

    日期:2025-02-11

    掃描電鏡(SEM)中的樣品通常需要在真空環境中進行處理。這是因為掃描電鏡的工作原理依賴于高能電子束與樣品的相互作用,而高能電子束在空氣中會迅速散射或吸收,無法有效地穿透和與樣品發生作用。因此,為了確保成像的質量和可靠性,掃描電鏡操作需要在真空環境下進行。具體來說,樣品需要經歷以下幾個方面的真空處理:

    1. 樣品真空處理的原因

    電子束傳播:掃描電鏡的電子束需要在真空環境中傳播,以避免電子與空氣分子(如氧分子或氮分子)發生碰撞,這會導致電子束散射、能量損失以及成像質量下降。

    提高信噪比:真空環境可以減少電子束在傳播過程中的衰減,提高圖像的信噪比,從而獲得更清晰的圖像。

    減少氣體分子干擾:在空氣中,氣體分子可能會與樣品發生反應,影響成像的穩定性。真空環境有助于減少這種干擾。

    2. 樣品預處理的必要性

    在放入掃描電鏡之前,某些類型的樣品需要進行特定的預處理步驟:

    干燥:許多樣品,尤其是生物樣品或含水樣品,在進入SEM之前需要干燥。濕樣品會導致水分蒸發時產生氣體,影響成像質量。

    涂層:非導電性樣品(如生物組織、塑料等)常常需要涂上薄層金屬(如金、鉑等),以提高其導電性并防止電荷積累。在真空環境下,電荷積累會影響圖像質量。

    樣品固定:為了確保樣品在真空環境中的穩定性,需要將樣品固定在樣品臺上,避免樣品在掃描過程中發生位移或變形。

    3. 低真空和常規高真空

    常規高真空:大多數掃描電鏡操作都在高真空(10?? Pa或更低的壓力)環境下進行。這種真空條件適用于大多數材料的觀察,尤其是已進行導電處理的樣品。

    低真空模式:對于一些不適合在高真空環境下成像的樣品,如生物樣品、濕樣品或非導電樣品,現代掃描電鏡通常可以在低真空下工作。這種模式下,樣品周圍保持低壓力環境(通常是幾百Pa至幾十Pa),但電子束的傳播仍能得到有效控制。低真空模式可以減少樣品的預處理要求,如不需要金屬涂層。

    4. 真空處理對樣品的影響

    可能的損傷:在真空中,樣品的某些特性可能會發生變化。例如,水分蒸發可能導致生物樣品變形或結構損壞。對于這些樣品,需要通過冷凍干燥等方法來減小真空處理對樣品的影響。

    電荷積累:非導電樣品容易在掃描過程中積累電荷,這會導致圖像模糊或失真。涂層金屬可以防止這種現象,但對于某些高分辨率成像,可能需要特殊的電荷補償技術。

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    掃描電鏡


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    作者:澤攸科技


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