掃描電鏡的樣品臺能否傾斜？
日期：2025-02-10
掃描電鏡（SEM）的樣品臺通常可以傾斜，這一功能對于獲得高質量成像效果和分析結果非常重要。
樣品臺傾斜的功能和作用
增強表面特征的可見性：
傾斜樣品可以改變入射電子束與樣品表面的角度，從而提高表面特征的對比度和清晰度。
特別是對于高度起伏的樣品，傾斜有助于減少影像中的陰影區域。
提高信號收集效率：
傾斜樣品可以增加二次電子或背散射電子的發射角，從而提高信號強度。
對于某些檢測器（如背散射電子檢測器），樣品的傾斜有助于優化信號采集。
測量晶體取向：
在電子背散射衍射（EBSD）分析中，樣品通常需要傾斜到 70° 左右，以優化衍射圖案的信號強度。
元素成分分析：
在能譜分析（EDS）中，適當傾斜樣品可以改善 X 射線的出射路徑，減少信號吸收，提高分析精度。
樣品臺的傾斜范圍
大多數 SEM 的樣品臺傾斜范圍在 0° 到 90° 之間，但具體范圍取決于設備的型號和樣品臺設計。
一些高精度樣品臺可能支持微小角度的調整，以便進行更加精細的優化。
傾斜樣品的注意事項
樣品高度限制：
傾斜樣品后，其實際高度會增加，需要注意樣品與電鏡鏡筒之間的距離，以避免發生碰撞。
視場變化：
傾斜樣品會改變電子束在樣品上的投影面積，可能導致視場形狀從圓形變為橢圓形。
電荷積累和分辨率影響：
對于非導電樣品，傾斜可能導致電荷分布不均，影響成像質量。
高傾斜角度下，圖像分辨率可能會有所下降。
校準：
傾斜樣品后，特別是用于測量的圖像，需要校正透視效應和角度誤差。
如何操作樣品臺傾斜？
通過 SEM 控制界面：
現代 SEM 設備大多配備了電動樣品臺，用戶可以在軟件界面中通過滑塊或輸入角度數值進行調整。
手動調整（舊型號或特殊設備）：
某些 SEM 可能需要手動調節樣品臺上的旋鈕以設置傾斜角度。
傾斜的實時觀察：
監控樣品在屏幕上的圖像，并根據成像需求逐步調整角度，直至達到理想效果。
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作者：澤攸科技