掃描電鏡的樣品臺傾斜角度如何調整？
日期：2024-11-04
在掃描電鏡（SEM）中，調整樣品臺的傾斜角度可以幫助優化圖像的對比度、觀察表面結構的細節，以及獲得立體感和更好的斷層視角。樣品臺的傾斜角度通常可以在控制面板中手動或自動調整，以適應不同的成像需求。以下是具體的調整方法和注意事項：
1. 樣品臺傾斜控制
手動控制：部分 SEM 配有物理按鈕或旋鈕，可以直接手動調整樣品臺的傾斜角度。通常在顯微鏡的控制面板或樣品艙附近。
軟件控制：許多現代 SEM 通過軟件控制樣品臺傾斜。在操作軟件的用戶界面中，可以找到傾斜控制選項，輸入所需的角度（例如 0° 到 90°）并執行調整。
2. 常見傾斜角度應用
0°（水平）：適用于一般成像和樣品表面特征分析。水平放置可以減少視角失真，使得表面觀測效果更好。
15° – 45°：傾斜角度的設置能增強表面結構的立體感，尤其適合于觀察樣品的縱深或厚度。例如，顆粒表面觀察或層狀樣品的成像。
>45°：高角度傾斜用于觀察橫截面或接近垂直的結構，適合斷層成像和立體觀察。
3. 調整步驟
定位樣品：將樣品放置在樣品臺上，確保牢固固定。
選擇初始傾斜角度：在 SEM 軟件中或使用手動控制將樣品臺傾斜至所需初始角度（如 0°）。
實時觀察調整效果：在 SEM 界面上觀察實時圖像，慢慢增加或減小傾斜角度，調整至所需的觀察效果。
4. 傾斜角度對成像效果的影響
電子束入射角度：樣品臺傾斜會改變電子束入射角度，從而影響樣品的電子發射效率和圖像對比度。
表面電荷累積：對非導電材料，傾斜角度可能影響電荷分布，導致樣品不同區域的電荷累積變化。合理的角度可以減小充電效應。
景深變化：傾斜角度增加會帶來一定的景深變化，適當的傾斜可使樣品的不同層面同時成像清晰。
5. 注意事項
避免樣品與物鏡碰撞：樣品臺傾斜時要特別小心與物鏡或探頭之間的距離，以免傾斜角度過大導致碰撞。
校準和重新聚焦：傾斜樣品后，需重新對焦和校準以獲得清晰的圖像。
樣品穩定性：確保樣品牢固固定，以避免傾斜過程中樣品移動或振動影響成像質量。
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作者：澤攸科技