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    如何調整掃描電鏡的電子束電流?

    日期:2025-03-31

    調整掃描電鏡(SEM)的電子束電流(Beam Current)可以影響成像的分辨率、信噪比和樣品損傷程度。以下是調整電子束電流的方法及其影響:

    1. 通過透鏡孔徑(Aperture)調整

    電子束通過透鏡孔徑時,較小的孔徑會減少束流,提高分辨率但降低信號強度。

    增大孔徑可以提高電子束電流,從而增強信號,但可能會降低分辨率。

    操作步驟:

    進入 SEM 控制界面,找到 Aperture Size 選項。

    選擇較小的孔徑以提高分辨率,或選擇較大的孔徑以增加電流。

    2. 通過槍電流(Gun Current)調整

    電子束的發射源(如鎢絲、LaB? 或場發射源)決定了初始電子數量。

    通過調整發射源的 Filament Current 或 Emission Current 可以控制電子束電流。

    操作步驟:

    進入 SEM Gun Control 界面。

    增大 Filament Current 可提高束流,但可能增加電子源消耗。

    適量減少可降低樣品充電效應和損傷。

    3. 通過聚光透鏡(Condenser Lens)調整

    聚光透鏡控制電子束的聚焦程度,影響束流大小和束斑尺寸。

    增強透鏡強度會減少束流,提高分辨率但降低信號強度。

    降低透鏡強度會增加束流,提高信號但可能降低分辨率。

    操作步驟:

    進入 Beam Settings,調整 Condenser Lens Strength。

    適當調整以平衡信號強度與分辨率。

    4. 通過掃描倍率調整(僅影響局部電流)

    在較高倍率下,電子束覆蓋的范圍變小,局部電子束電流密度增加。

    在低倍率下,電流密度較低,成像信號較弱。

    操作步驟:

    適當調整 Magnification,選擇合適的掃描范圍。

    以上就是澤攸科技小編分享的如何調整掃描電鏡的電子束電流。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


    TAG:

    作者:澤攸科技


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