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在掃描電子顯微鏡（SEM）成像過程中，樣品可能會(huì)受到污染，導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降或影響分析結(jié)果。以下是一些防止污染的有效方法：

1. 預(yù)處理樣品，減少污染源

清潔樣品：使用超聲波清洗、去離子水沖洗或等離子清洗去除表面污染物。 

干燥樣品：避免水分殘留，可使用烘干或真空干燥。 

避免手接觸：用鑷子或手套處理樣品，防止皮脂污染。 

2. 控制真空腔內(nèi)污染

定期清潔 SEM 樣品腔：使用等離子清洗或低能電子束清洗去除沉積污染。 

避免使用高揮發(fā)性膠水或銀漆：可選擇低污染的導(dǎo)電膠或機(jī)械夾持方式固定樣品。 

減少樣品倉(cāng)打開次數(shù)：頻繁暴露空氣可能帶入水汽和有機(jī)污染物。 

3. 使用低束流和低加速電壓

電子束與樣品作用可能引發(fā)碳沉積污染，適當(dāng)降低束流和電壓可減少污染風(fēng)險(xiǎn)。 

4. 選擇適當(dāng)?shù)臉悠吠繉?/span>

絕緣樣品需噴金、碳或鉑，提高導(dǎo)電性并減少電子束誘導(dǎo)污染。 

5. 采用低污染 SEM 運(yùn)行模式

低溫 SEM（冷臺(tái)）：對(duì)生物或揮發(fā)性樣品可減少污染和損傷。 

環(huán)境 SEM（ESEM）：適用于含水或易揮發(fā)樣品，可減少污染沉積。 

6. 維護(hù) SEM 儀器

保持高真空狀態(tài)，防止有機(jī)分子在樣品上沉積。 

定期更換真空泵油，防止油蒸氣污染。

以上就是澤攸科技小編分享的如何防止樣品在SEM成像過程中受到污染。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢15756003283(微信同號(hào))。