掃描電鏡中的工作距離如何影響信號收集效率
日期：2024-09-18
在掃描電子顯微鏡（SEM）中，工作距離（Working Distance, WD）是指電子槍發(fā)射出的電子束聚焦到樣品表面之間的距離。工作距離的調(diào)整對信號收集效率、圖像質(zhì)量以及分辨率等都有重要影響，具體如下：
信號收集效率：
短工作距離：電子束的散焦較小，二次電子和背散射電子的收集效率較高，因為它們在樣品表面與探測器之間的路徑較短，這減少了信號丟失和電子散射。通常，短工作距離有助于提高圖像的亮度和信號對噪聲比。
長工作距離：由于電子在樣品表面和探測器之間的路徑更長，信號會衰減，尤其是低能量的二次電子。同時，背散射電子的發(fā)射角度影響會更明顯，導(dǎo)致收集效率下降。因此，長工作距離通常會降低信號收集效率。
分辨率：
短工作距離一般用于高分辨率成像，因為電子束在樣品表面的聚焦更緊密，能生成更清晰的細(xì)節(jié)。然而，由于短工作距離可能會增加樣品與物鏡或探針之間的相互干擾，使用時需要更精確的對準(zhǔn)和控制。
長工作距離適合低分辨率成像和更大樣品的觀察，但通常分辨率較低。
景深：
工作距離越長，景深（焦距范圍內(nèi)清晰成像的深度）越大，適用于較大或不平整樣品的觀察。
短工作距離則會減少景深，因此更適合用于觀察平坦樣品或?qū)μ囟?xì)節(jié)的高分辨率成像。
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作者：澤攸科技