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在掃描電子顯微鏡（SEM）中，背散射電子（BSE）可以用于增強樣品的對比度，尤其是對不同原子序數的材料區分更為顯著。以下是如何利用背散射電子增強樣品對比度的主要方法：

1. 選擇背散射電子探測器

使用BSE探測器：在SEM中，背散射電子探測器專門用于收集背散射電子信號。相較于二次電子，背散射電子主要是來自較重的原子核附近，因此能夠提供基于材料成分的對比度。

位置和幾何配置：確保背散射電子探測器正確放置，通?？拷鼧悠繁砻嬉宰畲蠡盘柺占?。

2. 調整電子束加速電壓

高加速電壓：背散射電子的生成與入射電子的能量有關。較高的加速電壓能夠使更多的電子產生背散射，這會增強不同材料的對比效果，尤其在樣品內部成分的差異較大時。

適當控制電壓：避免過高的電壓，可能會導致穿透過深，減弱表面信息。

3. 利用背散射電子的Z對比度

原子序數對比（Z對比）：背散射電子的強度與樣品中原子序數的高低成正比。高原子序數區域（如金屬）產生更多的背散射電子，因此在圖像中顯示為亮區，而低原子序數區域（如輕元素材料）顯示為暗區。

材料對比：利用這種Z對比度，可以區分樣品中不同材料或化學成分的分布，尤其是復雜合金或多相材料。

4. 優化探測器設置

信號濾波：有些SEM系統允許對BSE探測器信號進行一定的濾波或增益調節，以增強對比度和降低噪聲。

多個探測器組合：在一些SEM系統中，可以同時使用多個背散射電子探測器，針對不同角度采集信號，并結合這些信號增強圖像對比度。

5. 結合二次電子與背散射電子

綜合成像：在一些成像應用中，可以同時采集二次電子（SE）圖像和背散射電子（BSE）圖像，將兩者進行對比以得到更豐富的樣品表面形貌信息與成分對比度。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中如何使用背散射電子增強樣品對比度。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。