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在掃描電鏡（SEM）中對非導電樣品進行高真空條件下的成像可能會遇到電荷積累問題，這會導致圖像失真甚至損壞樣品。以下是一些方法，可以幫助實現對非導電樣品的高質量成像：

1. 使用導電涂層

金屬涂層：使用一層薄的導電材料（如金、鉑、鈀或碳）在樣品表面進行鍍膜，可以有效地引導電子流失，防止電荷積累。這種方法適用于絕大多數非導電樣品。

涂層厚度控制：涂層應盡可能薄，以避免對樣品的形貌和特性產生過多影響，同時確保其足夠導電。

2. 使用低加速電壓

降低電子束能量：降低電子束的加速電壓可以減少電子的穿透深度，從而減小電荷積累的可能性。雖然會降低分辨率，但能減少樣品損傷和電荷效應。

3. 優化工作距離

增加工作距離：適當增加工作距離可以降低電子束的強度，減少電荷積累，同時減少圖像失真和偽影的產生。

4. 低劑量成像

減少電子束劑量：降低電子束的束流強度或加快掃描速度，以減少電子束對樣品的曝光時間，降低電荷積累的風險。

5. 使用專用探測器

低電荷探測器：一些SEM配備有低電荷探測器，這種探測器能夠在不導電的情況下減小樣品的電荷效應。可以選擇適合的探測器設置來優化成像效果。

6. 使用環境掃描電鏡（ESEM）

濕氣環境：雖然ESEM通常用于低真空條件，但在高真空條件下仍可采用低濕氣環境，以幫助中和電荷。利用水蒸氣或其他惰性氣體在樣品表面生成薄層，從而減少電荷積累。

7. 使用納米粒子或導電膠

混合樣品制備：通過在樣品上添加納米級的導電顆粒或涂抹導電膠，可以改善樣品的導電性。此方法適用于復雜或形狀不規則的樣品。

8. 重復掃描和圖像平均

多次掃描：在低劑量下多次掃描樣品，并通過圖像處理軟件對圖像進行平均，這樣可以降低噪聲并減少電荷效應對圖像的影響。

9. 實時監控與調整

實時調整：在成像過程中，實時監控電荷效應，并根據需要調整加速電壓、工作距離或掃描速度，以獲得高質量成像效果。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中進行高真空條件下的非導電樣品成像。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢