掃描電鏡工作時鏡筒內的一般真空度要求
日期：2024-06-14
掃描電鏡（SEM）工作時鏡筒內的真空度是確保電子束正常傳輸和樣品表面電子散射檢測的重要因素。通常，SEM的鏡筒內需要維持高真空，以避免電子束與空氣分子碰撞，導致電子束散射和能量損失。
一般真空度要求
高真空SEM
在高真空SEM中，鏡筒內的真空度通常在以下范圍：
10^-5 至 10^-7 托 (Torr)
這種高真空度可以減少電子束在空氣中的散射，從而提高圖像分辨率和信噪比。這種環境適用于大多數常見的SEM應用，如材料科學、納米技術和生物樣品的高分辨率成像。
低真空SEM（環境掃描電鏡，ESEM）
低真空SEM或環境掃描電鏡（ESEM）允許在較低的真空度下操作，通常在以下范圍：
1 至 10^-3 托 (Torr)
低真空模式適用于非導電樣品和含水樣品的觀察，因為可以在樣品表面保留一層水蒸氣，避免樣品表面電荷積累和損傷。ESEM可以在環境條件下觀察濕潤、油脂和其他非導電樣品。
真空度的重要性
電子束的穩定性：高真空度可以減少空氣分子對電子束的散射，確保電子束穩定和集中，從而獲得高質量的圖像。
樣品保護：高真空環境可以防止樣品表面被氧化或污染，尤其是對于敏感材料而言。
設備保護：維持高真空可以減少污染物在鏡筒內的沉積，延長設備的使用壽命和性能穩定性。
真空系統的組成
SEM的真空系統通常由以下部分組成：
粗抽泵：如旋片泵或干泵，用于初步抽空，使真空度達到10^-2 至 10^-3 托。
高真空泵：如渦輪分子泵、離子泵或擴散泵，用于進一步提高真空度，使其達到10^-5 托或更高。
真空計：監測和顯示鏡筒內的真空度，確保系統維持在合適的真空范圍。
維護真空系統
為了保持SEM的正常運行和高質量圖像，需定期維護真空系統：
檢查和更換泵油（對于旋片泵和擴散泵）。
定期校準和清潔真空計。
檢查和更換密封圈，確保系統的密封性。
定期檢漏，檢測和修復可能的泄漏點。
總結
在SEM操作中，鏡筒內的真空度是確保電子束穩定性和圖像質量的關鍵因素。高真空度通常在10^-5 至 10^-7 托，而低真空或環境掃描電鏡則在1 至 10^-3 托。通過維護和管理真空系統，可以確保SEM的正常運行和高質量的成像結果。
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作者：澤攸科技