掃描電鏡如何避免樣品表面充電效應(yīng)
日期：2024-01-18
掃描電鏡中的樣品表面充電效應(yīng)是一個(gè)常見問題，但可以通過以下方法來減輕或避免：
導(dǎo)電涂層： 在樣品表面涂覆一層薄而均勻的導(dǎo)電涂層，如金屬（例如金、鉑）或碳。這有助于提供一個(gè)導(dǎo)電路徑，減輕表面充電效應(yīng)。
樣品炭層： 對于非導(dǎo)電樣品，可以使用碳薄層來涂覆樣品表面。這有助于提高樣品的導(dǎo)電性，從而減輕充電效應(yīng)。
金屬導(dǎo)電涂層： 對于特定的樣品，可以考慮在樣品表面蒸鍍一層薄的金屬導(dǎo)電膜。這可以改善電子導(dǎo)電性，減少表面充電。
低電子能量： 使用較低的電子能量進(jìn)行掃描。較低的電子能量可以減少電子束與樣品相互作用，從而減輕表面充電效應(yīng)。
真空環(huán)境： 在掃描電鏡操作期間維持適當(dāng)?shù)恼婵窄h(huán)境，以減少氣體分子對電子束和樣品的影響，有助于減輕表面充電效應(yīng)。
中性氣體輔助： 有些掃描電鏡設(shè)備具有中性氣體輔助功能，通過注入中性氣體（如氮?dú)猓﹣碇泻捅砻娉潆娦?yīng)。
低電子通量： 使用較低的電子通量，即每單位時(shí)間內(nèi)通過樣品的電子數(shù)量。這有助于減輕充電效應(yīng)。
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作者：澤攸科技