掃描電鏡如何應(yīng)對非導(dǎo)電樣品的觀察
日期：2023-12-20
在掃描電鏡（SEM）中，觀察非導(dǎo)電樣品時會面臨電荷積聚、圖像漂移等問題。為了解決這些問題，可以采用一些特殊的樣品處理和技術(shù)手段。以下是一些常見的方法：
導(dǎo)電涂層：
對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層是一種常見的方法。通過在樣品表面涂覆薄導(dǎo)電層，如金屬或碳，可以提高樣品的導(dǎo)電性，減少電荷積聚。這有助于在掃描電鏡中獲得更清晰的圖像。
金屬蒸鍍：
利用金屬蒸鍍設(shè)備對樣品進(jìn)行金屬蒸鍍，形成薄導(dǎo)電金屬層。這種方法適用于小型樣品，如生物樣品、纖維等。金屬蒸鍍可以提供良好的導(dǎo)電性，同時保持樣品表面的形貌。
碳蒸鍍：
對樣品進(jìn)行碳蒸鍍是另一種增加導(dǎo)電性的方法。碳薄膜可以在樣品表面形成均勻的導(dǎo)電層，適用于一些對金屬靈敏的樣品。
樣品制備技術(shù)：
優(yōu)化樣品的制備技術(shù)，采用導(dǎo)電基底材料或?qū)щ娔z水將非導(dǎo)電樣品固定在導(dǎo)電基底上。這樣可以改善樣品的導(dǎo)電性，并減輕電荷積聚的影響。
低電壓成像：
降低掃描電鏡的電子束能量，采用較低的加速電壓。較低的電子束能量有助于減小電荷積聚的影響，但也可能降低分辨率。
防靜電裝置：
使用防靜電設(shè)備，如防靜電棒、離子風(fēng)機(jī)等，以減輕電荷積聚。這些設(shè)備可以在觀察過程中減小樣品表面的靜電電荷。
逐步掃描：
采用逐步掃描的方式進(jìn)行觀察，減少電荷的累積。這意味著在不同區(qū)域進(jìn)行逐步掃描，以減小電荷影響的積累。
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作者：澤攸科技