如何通過掃描電鏡實現樣品的局部和全局成像？
日期：2023-07-27
通過掃描電子顯微鏡（SEM），可以實現樣品的局部和全局成像。這涉及到樣品的掃描方式和成像設置的調整。以下是實現樣品局部和全局成像的一些方法：
局部成像：
選取感興趣區域： 在SEM成像前，首先選擇感興趣的區域，也就是局部區域，這可能是一個特定的微觀結構或區域。在高放大倍數下，通過觀察樣品，可以確定需要進行局部成像的區域。
設置合適的掃描范圍： 在局部成像時，需要調整掃描范圍，使其僅覆蓋感興趣的局部區域。通常可以通過縮小掃描范圍或在圖像處理軟件中裁剪圖像來實現局部成像。
全局成像：
選擇適當的放大倍數： 全局成像需要獲得整個樣品的總體形貌。因此，在選擇放大倍數時，應選擇一個較低的放大倍數，以便能夠看到整個樣品的范圍。
多區域掃描和圖像拼接： 如果樣品比較大，無法一次性在一個圖像中顯示，可以通過分割成多個局部區域，并進行多次掃描，然后將這些局部圖像拼接在一起，形成全局圖像。這可以通過SEM系統自帶的圖像拼接功能或圖像處理軟件來實現。
全樣品掃描： 有些SEM系統支持全樣品掃描功能，可以在一個較低的放大倍數下，自動掃描整個樣品的表面，并生成全局圖像。
需要注意的是，在進行局部和全局成像時，樣品的表面電荷效應可能會對成像結果產生影響。適當的樣品處理和調整SEM參數可以幫助減輕電荷效應的影響，并獲得更準確的成像結果。
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作者：澤攸科技