如何通過掃描電鏡實現(xiàn)樣品的局部和全局成像？
日期：2023-07-27
通過掃描電子顯微鏡（SEM），可以實現(xiàn)樣品的局部和全局成像。這涉及到樣品的掃描方式和成像設置的調整。以下是實現(xiàn)樣品局部和全局成像的一些方法：
局部成像：
選取感興趣區(qū)域： 在SEM成像前，首先選擇感興趣的區(qū)域，也就是局部區(qū)域，這可能是一個特定的微觀結構或區(qū)域。在高放大倍數下，通過觀察樣品，可以確定需要進行局部成像的區(qū)域。
設置合適的掃描范圍： 在局部成像時，需要調整掃描范圍，使其僅覆蓋感興趣的局部區(qū)域。通常可以通過縮小掃描范圍或在圖像處理軟件中裁剪圖像來實現(xiàn)局部成像。
全局成像：
選擇適當的放大倍數： 全局成像需要獲得整個樣品的總體形貌。因此，在選擇放大倍數時，應選擇一個較低的放大倍數，以便能夠看到整個樣品的范圍。
多區(qū)域掃描和圖像拼接： 如果樣品比較大，無法一次性在一個圖像中顯示，可以通過分割成多個局部區(qū)域，并進行多次掃描，然后將這些局部圖像拼接在一起，形成全局圖像。這可以通過SEM系統(tǒng)自帶的圖像拼接功能或圖像處理軟件來實現(xiàn)。
全樣品掃描： 有些SEM系統(tǒng)支持全樣品掃描功能，可以在一個較低的放大倍數下，自動掃描整個樣品的表面，并生成全局圖像。
需要注意的是，在進行局部和全局成像時，樣品的表面電荷效應可能會對成像結果產生影響。適當的樣品處理和調整SEM參數可以幫助減輕電荷效應的影響，并獲得更準確的成像結果。
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作者：澤攸科技