ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹
日期：2022-06-06
ZEM15臺式掃描電鏡的電子光學系統、探測器、電路控制系統、信號采集系統和操作軟件均為澤攸科技自主研制。特別研制的電子光學系統設計，使拍攝圖片具有更高的信噪比和對比度。配合很高的信號采集帶寬，可以在視頻幀率下高質量的流暢顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作，無需光闌對中等復雜步驟。主機集成高壓及控制系統，是目前市面上體積較小的臺式掃描電鏡，便于移動，安裝無需特殊環境。
ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能：
一、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結構的相鑒定。
二、在半導體器件(IC)研究中的特殊應用：
1)利用電子束感生電流EBIC進行成像，可以用來進行集成電路中pn結的定位和損傷研究
2)利用樣品電流成像，結果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。
3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。
三、顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定——-化學成分像分布，微區化學成分分析
1）用x射線能譜儀或波譜采集特征X射線信號，生成與樣品形貌相對應的，元素面分布圖或者進行定點化學成分定性定量分析，相鑒定。
2）利用背散射電子基于平均原子序數（一般和相對密度相關）反差，生成化學成分相的分布圖像；
3）利用陰極熒光，基于某些痕量元素受電子束激發的光強反差，生成的痕量元素分布圖像。
4）利用樣品電流，基于平均原子序數反差，生成的化學成分相的分布圖像，該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。
5）利用俄歇電子，對樣品物質表層進行化學元素分布的定性定理分析。
四、掃描電子顯微鏡追求固體物質高分辨的形貌，形態圖像-形貌分析（表面幾何形態，形狀，尺寸）。
以上就是澤攸科技小編為大家介紹的ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹，如果您還想要了解更多ZEM15臺式掃描電鏡功能及價格，歡迎您咨詢18817557412(微信同號)
作者：澤攸科技