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    國產(chǎn)臺式掃描電鏡鎢燈絲發(fā)射電子的原理及在使用中應(yīng)該注意的問題

    日期:2022-05-24

    國產(chǎn)臺式掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍,加速電壓在1-15kV范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),搭配二次電子探測器、背散射電子探測器、集成式oxford能譜儀,同時滿足形貌觀測及元素分析需求。


    下面我們來了解一下有關(guān)國產(chǎn)臺式掃描電鏡鎢燈絲發(fā)射電子的原理及在使用過程中應(yīng)該注意的一些問題:


    當(dāng)有電流流經(jīng)燈絲時,陰極被直接加熱,鎢燈絲中的電子受熱激發(fā),在加速電場的作用下,電子定向發(fā)射。在正常的工作溫度下,電子從大約100um×150um的面積發(fā)射離開“V”形陰極尖.端。當(dāng)陰極的發(fā)射溫度增加時,其發(fā)射電流以指數(shù)的方式快速增長,使得束斑亮度大增。

    但由于鎢陰極自身溫度升高,使之蒸發(fā)加快,陰極絲直徑隨著蒸發(fā)量的加大而變小,也隨使用時間的增長而變得越來越細,導(dǎo)致陰極絲斷開。


    因此,燈絲達到工作溫度及飽和度所需的加熱電流也隨燈絲的變細而減小,其壽命也隨加熱溫度的升高而降低。

    國產(chǎn)臺式掃描電鏡拍攝 

    雖然提高燈絲的工作溫度,即加大加熱電流可能還能略微加大發(fā)射束流、增加一點亮度,但付出的代價將會是使燈絲壽命明顯縮短;反之若適當(dāng)?shù)販p小加熱電流,則燈絲的工作壽命會相應(yīng)延長。正常的燈絲加熱電流應(yīng)調(diào)在臨界飽和狀態(tài),從而既可穩(wěn)定地發(fā)射電流,又不至于影響其正常的工作壽命。


    這種直熱式的鎢陰極發(fā)射通過對燈絲的直接加熱,把電子從鎢陰極材料中激發(fā)出來。若增加燈絲的加熱電流,燈絲的溫度就會隨之上升,發(fā)射的束流也會隨之加大。當(dāng)燈絲的發(fā)射束流達到其高點時,即使再加大燈絲的加熱電流,其發(fā)射的束流也很難再有明顯增加,而只會增加燈絲的溫度,從而加速燈絲的揮發(fā),進而導(dǎo)致燈絲很快燒斷。也就是說操作者應(yīng)該小心地施加燈絲的加熱電流,以獲得既大又穩(wěn)定的發(fā)射束流,而燈絲的溫度又能恰到好處,不至于升得太高而造成過熱,這個點就叫作飽和點。

    若燈絲的加熱電流偏小,未達到臨界飽和點,則會使燈絲的溫度偏低,發(fā)射束流偏小且不穩(wěn)定,結(jié)果會導(dǎo)致亮度不足、圖像的信噪比變差;若燈絲的加熱電流剛好處在臨界飽和點,則發(fā)射的束流既穩(wěn)定,亮度又高,圖像的信噪比又比較好;若加熱的電流超過臨界飽和點,則只會增加燈絲的溫度,而發(fā)射束流不會有明顯增加,但會明顯縮短燈絲的壽命,這種情況下的陰極激發(fā)電極壽命可能只有30~40小時,壽命短的甚至不到20小時。


    所以在正常工作時,應(yīng)把燈絲的加熱電流設(shè)置在臨界飽和點,只有在這種狀態(tài)下,陰極發(fā)射的束流才能連續(xù)、穩(wěn)定,且能提供足夠的亮度,并且燈絲才能達到正常的預(yù)期壽命。


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    作者:澤攸科技


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