臺式掃描電鏡光闌的主要作用
日期:2023-05-08
臺式掃描電鏡(SEM)光闌是位于電子槍出口處的一個圓形金屬片,其作用是限制電子束的直徑和控制束斑的形狀,以便獲得高分辨率的SEM圖像。具體來說,光闌主要有以下兩個作用:
控制電子束的直徑:光闌的中心孔洞大小決定了電子束的直徑。通過調節光闌的孔徑大小,可以控制束斑的直徑,從而控制電子束的聚焦程度。這對于SEM圖像的分辨率非常重要,因為更小的束斑可以提供更高的分辨率和更清晰的圖像。
控制電子束的形狀:光闌可以調整束斑的形狀,通常使用的是圓形或橢圓形。這是因為在光學鏡頭中,光線會被聚焦成圓形或橢圓形的光斑,而電子顯微鏡也使用類似的聚焦原理。光闌可以幫助SEM控制束斑的形狀,從而獲得更好的SEM圖像。
綜上所述,光闌是臺式掃描電鏡系統中非常重要的組成部分,它能夠控制電子束的直徑和形狀,從而獲得高分辨率和清晰的圖像。因此,保持光闌的清潔和良好狀態對于SEM的正常運行和成像非常重要。
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作者:澤攸科技
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