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掃描電鏡通過高能電子與樣品間的相互作用而成像。掃描電鏡中的電子槍會發射出高能電子束，并且這個電子束被聚焦成一個非常小的束斑，然后通過掃描樣品表面來獲取信號。

當高能電子束照射到樣品表面時，會與樣品表面原子產生相互作用。這些相互作用包括電子-電子相互作用、電子-原子核相互作用、電子-原子軌道相互作用等，都會導致電子在樣品表面散射或反射，同時也會發生信號的發射，如次級電子、背散射電子、X射線等。

掃描電鏡會將這些信號捕獲，并通過掃描樣品表面來獲取二維或三維的信號分布信息。SEM中的探測器會接收來自樣品表面的二次電子信號或背散射電子信號，然后將這些信號轉換成電信號，再經過放大和數字化處理后，通過計算機進行圖像重建。

掃描電鏡成像的優點包括高分辨率、高放大倍數和大深度場，能夠提供高清晰度、高對比度的表面形貌和微觀結構圖像，因此在材料科學、生物科學、納米技術等領域得到了廣泛應用。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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