掃描電鏡能譜儀的幾種工作模式
日期：2023-02-07
掃描電鏡能譜儀是用來對材料微區(qū)成分進行分析的一種儀器，通常配合掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡及掃描透射電子顯微鏡使用。其工作模式一般為以下幾個方面。
點分析
電子束固定再試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法準(zhǔn)確度高，用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析，對低含量元素定量的試樣，只能用點分析。
線掃描
電子束沿一條分析線進行掃描時 ，能獲得元素含量變化的線分布曲線 。結(jié)果和試樣形貌像對照分析能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布 。
元素面分布
電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在屏幕上以亮度(或彩色)分布顯示出來，亮度越亮說明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。
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作者：澤攸科技
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