掃描電鏡與透射電鏡的區別
日期:2023-01-17
掃描電鏡與透射電鏡都是用來獲取樣品信息的設備,那么二者有何區別呢?
電子束光路位置不同
透射電鏡的樣品在電子束中間,電子源在樣品上方發射電子,經過聚光鏡,然后穿透樣品后,有后續的電磁透鏡繼續放大電子光束,之后投影在熒光屏幕上。
掃描電鏡的樣品在電子束末端,電子源在樣品上方發射的電子束,經過幾級電磁透鏡縮小,到達樣品。
工作原理區別
透射電鏡:電子束在穿過樣品時,會和樣品中的原子發生散射,樣品上某一點同時穿過的電子方向是不同,這些電子通過過物鏡放大后重新匯聚,形成該點一個放大的實像,這個和凸透鏡成像原理相同。
掃描電鏡:利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。當電子轟擊樣品表面時會產生各種信號,其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發射區域,它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結構等信息。
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作者:澤攸科技
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