<rt id="kc4i4"></rt>
  • <rt id="kc4i4"><tr id="kc4i4"></tr></rt>

    掃描電子顯微鏡每一個設計作品都精妙

    當前位置: 主頁 > 應用案例 > 掃描電子顯微鏡

    ZEM20臺式掃描電鏡在硅片與芯片質量檢測中的應用

    日期:2023-11-24

    隨著我國半導體產業(yè)的高速發(fā)展,對硅片與芯片微細結構的表征與質量控制提出了更高要求。澤攸科技自主研發(fā)的ZEM20臺式掃描電鏡以其高質量的成像分辨率、豐富的信號檢測模式,成為半導體行業(yè)理想的微區(qū)形貌與缺陷檢測工具。

    1.png

    本文以ZEM20臺式掃描電鏡為平臺,對工業(yè)級硅片表面及芯片引腳線進行成像表征。結果表明,ZEM20臺式掃描電鏡可以清晰呈現(xiàn)硅片表層污染物與劃痕情況,并識別出芯片引腳結合區(qū)域的微小裂紋,為半導體器件的質量控制與工藝優(yōu)化提供有力技術支撐。

    硅片作為半導體器件加工的基板,其表面質量直接影響后續(xù)制程的產品良率。本實驗以光刻后的硅片為研究對象,主要由光亮面與晶棱面兩部分組成。從檢測結果可見,光亮面存在散在分布的顆粒污染,主要成分為硅化合物;而晶棱面則可觀察到大量劃痕,具有一定方向性。

    本文以ZEM20臺式掃描電鏡為平臺,對工業(yè)級硅片表面及芯片引腳線進行成像表征。結果表明,ZEM20臺式掃描電鏡可以清晰呈現(xiàn)硅片表層污染物與劃痕情況,并識別出芯片引腳結合區(qū)域的微小裂紋,為半導體器件的質量控制與工藝優(yōu)化提供有力技術支撐。

    硅片作為半導體器件加工的基板,其表面質量直接影響后續(xù)制程的產品良率。本實驗以光刻后的硅片為研究對象,主要由光亮面與晶棱面兩部分組成。從檢測結果可見,光亮面存在散在分布的顆粒污染,主要成分為硅化合物;而晶棱面則可觀察到大量劃痕,具有一定方向性。

    光刻后的硅片表征圖

    光刻后的硅片表征圖

    光刻后的硅片表征圖

    光刻后的硅片表征圖

    上述結果表明硅片表面存在一定的機械損傷與污染情況,這可能源于切割工藝及后處理不當引起。也驗證了ZEM20臺式掃描電鏡可以有效識別硅片表面微小缺陷,為制程優(yōu)化與質量改進提供依據(jù)。

    引腳線作為連接芯片與外部電路的關鍵結構,其質量好壞直接關系到器件的使用壽命。本實驗選擇EPROM存儲芯片進行表征,考察引腳線與芯片連接區(qū)域的完整性。從ZEM20獲得的圖像可以明確識別出連接區(qū)域邊界無融合的裂紋,該結構損傷可能源于線焊接應力過大導致。

    芯片引腳線表征圖

    芯片引腳線表征圖

    芯片引腳線表征圖

    由此能看出ZEM20臺式掃描電鏡可以清晰顯示出EPROM芯片微區(qū)的關鍵結構損傷情況。其高分辨率的電子成像與多樣的探測模式,使其成為各類芯片質量控制的理想工具,為提升產品良率和加快量產提供了有力保障。

    綜上,澤攸科技ZEM20臺式掃描電鏡可直接成像硅片表面粗糙度與劃痕情況,清晰呈現(xiàn)芯片微區(qū)關鍵結構,是半導體材料與器件微觀形貌表征與質量檢測的有力工具,可廣泛應用于微電子領域的科研與生產過程,為我國半導體設備的自主可控提供堅實支撐。

    ZEM20臺式掃描電鏡

    ZEM20臺式掃描電鏡

    以上就是澤攸科技對ZEM20臺式掃描電鏡在硅片與芯片質量檢測中的應用的介紹,關于掃描電鏡價格請咨詢15756003283(微信同號)

    澤攸臺式掃描電鏡


    TAG:

    作者:澤攸科技


    主站蜘蛛池模板: 性色AV一区二区三区夜夜嗨| 精品久久洲久久久久护士| 校园亚洲春色另类小说合集| 日本免费观看网站| 国产成人a视频在线观看| 亚洲AV成人中文无码专区| www.黄在线| 老司机永久免费网站在线观看| 日日噜噜夜夜爽爽| 国产91精品在线| 久久精品无码一区二区日韩av| 182福利tv| 欧美一级中文字幕| 国产精品美女一级在线观看| 亚洲手机中文字幕| 亚洲日本人成中文字幕| 毛色毛片免费观看| 天天躁夜夜躁天干天干2020| 午夜爽爽爽男女污污污网站 | 老妇激情毛片免费| 无码一区二区波多野结衣播放搜索| 国产精品免费av片在线观看| 亚洲精品在线免费观看视频| tube欧美69xxxx| 精品少妇一区二区三区视频| 女性高爱潮真实有声视频| 亚洲精品欧美精品日韩精品| 18精品久久久无码午夜福利| 最近韩国电影免费高清播放在线观看 | 亚洲av片不卡无码久久| 2021日本三级理论影院| 欧美精品v国产精品v日韩精品 | 中日韩中文字幕| 色妞www精品视频| 日本哺乳期xxxx| 医生系列小说合集| 99久久无色码中文字幕| 没带罩子让老师捏了一节课| 国产真实偷乱小说| 亚洲一区动漫卡通在线播放| 韩国大尺度床戏未删减版在线播放 |