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    掃描電鏡原位附件每一個設計作品都舉世無雙

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    PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統

    日期:2022-05-20

    PicoFemto SFP3 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活

    多樣,可在三維納米位移臺的驅動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優于100 nm,以使待測量區域準確對準力探針。力探針同樣由壓電驅動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優于

    0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、

    光學、加熱等模塊,該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

    掃描電鏡納米力測量系統1.png


    PicoFemto SFP3 SEM納米力測量系統基本技術參數表


    技術指

    兼容性

    兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號掃描電子顯微鏡

    最大載荷

    ±10 ~±50 mN可選

    載荷分辨率

    優于10 mN

    加載模式

    拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等

    納米壓痕模式

    加載-保載-卸載,以及循環加載模式

    軟件

    自動測量載荷-位移曲線,自動保存;

    樣品位移反饋

    閉環

    響應時間

    50ms

    加載位移精度

    0.25 mm

    XYZ反饋

    開環

    XYZ粗調范圍

    大于5 mm

    XYZ細調范圍

    2.5 mm

    XYZ細調分辨率

    0.6 nm

    XYZ位移操作模式

    手柄操作(可改為軟件)。

    電流測量量程

    ±1.5 A

    電流測量精度

    ±100 fA

    電壓測量量程

    ±200V

    電壓測量精度

    ±100 nV

    電學測量模式

    自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t

    測量,自動保存。

    加熱范圍

    室溫至500

    加熱穩定性

    優于1

    其他

    可選光學模塊


       以上就是澤攸科技對PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統的介紹,關于價格請咨詢18817557412(微信同號)

    掃描電鏡納米力臺


    TAG:
    掃描電鏡納米力臺 SEM納米臺 納米壓痕儀

    作者:澤攸科技


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