掃描電鏡成像中的深度信息如何獲取
日期：2023-12-12
傳統(tǒng)的掃描電鏡成像是通過(guò)在樣品表面掃描電子束并檢測(cè)反射或二次電子而獲得的二維圖像。這種方式在表面拓?fù)涑上裆戏浅?qiáng)大，但對(duì)于深度信息的獲取有一定的局限性，因?yàn)镾EM主要專(zhuān)注于樣品表面。
然而，有一些技術(shù)和方法可以用于獲取SEM成像中的深度信息：
透射電子成像：
透射電子顯微鏡是一種通過(guò)樣品厚度而非表面成像的技術(shù)。TEM透射電子穿透樣品，形成樣品內(nèi)部的透射電子圖像。這可以提供有關(guān)樣品深度的信息。然而，TEM需要非常薄的樣品切片，對(duì)樣品制備有更高的要求。
掃描透射電鏡：
掃描透射電鏡是一種在SEM中集成了透射電子成像的技術(shù)。通過(guò)使用STEM，可以在同一儀器中獲取樣品表面和深度的信息。這對(duì)于材料科學(xué)和納米技術(shù)的研究非常有用。
焦散離子束切割：
焦散離子束切割是一種在SEM中常用的方法，可以通過(guò)離子束逐層切割樣品表面，以獲得樣品的橫截面圖像。這種方法提供了有關(guān)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)和深度的信息。
脫落電子顯微術(shù)：
脫落電子顯微術(shù)是一種使用慢電子的電子顯微術(shù)，其深度分辨率較高。通過(guò)測(cè)量電子的散射和能量損失，可以獲取有關(guān)樣品深度的信息。
合成孔徑雷達(dá)技術(shù)：
SAR是一種非常高分辨率的成像技術(shù)，通過(guò)記錄雷達(dá)返回信號(hào)的時(shí)間和相位信息來(lái)構(gòu)建圖像。雖然這通常用于地球遙感，但在科學(xué)研究中也可以用于獲取樣品深度信息。
焦深調(diào)制技術(shù)：
有些先進(jìn)的SEM儀器配備了焦深調(diào)制技術(shù)，通過(guò)控制電子束的焦深來(lái)實(shí)現(xiàn)深度信息的獲取。
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作者：澤攸科技