掃描電鏡中的電子背散射成像原理解析
日期：2023-11-24
掃描電子顯微鏡（SEM）中的電子背散射（BSE）成像是一種獲取樣品表面組成信息的技術(shù)。以下是電子背散射成像的基本原理解析：
電子源產(chǎn)生： 掃描電子顯微鏡使用電子束作為探針。這個(gè)電子束由電子槍產(chǎn)生，經(jīng)過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)后照射到樣品表面。
與物質(zhì)相互作用： 電子束與樣品中的原子發(fā)生相互作用。在這個(gè)過程中，電子可以被樣品原子中的外層電子散射，其中一部分電子被散射到背面。
背散射電子產(chǎn)生： 樣品中的高原子序數(shù)元素會(huì)引起更多的電子背散射。這些背散射電子具有高能量和高角度，與樣品的元素成分相關(guān)。
探測(cè)器捕獲： 安裝在掃描電鏡中的探測(cè)器用于捕獲背散射電子。探測(cè)器測(cè)量電子的能量和角度，并將這些信息轉(zhuǎn)化為圖像。
成像和分析： 得到的圖像顯示了樣品表面的組成信息。高原子序數(shù)的區(qū)域通常顯示為明亮的區(qū)域，而低原子序數(shù)的區(qū)域則較暗。這使得觀察樣品的元素分布和化學(xué)組成成為可能。
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作者：澤攸科技