掃描電鏡常用參數
日期:2023-03-29
掃描電鏡是一種常用的材料表征儀器,其主要功能是通過掃描樣品表面,獲取高分辨率的表面形貌和成分信息。掃描電鏡的重要參數包括:
分辨率:是指掃描電鏡成像的最小分辨距離,通常分辨率越高,掃描電鏡成像的細節越清晰。掃描電鏡分辨率通常可達到亞納米級別。
放大倍數:是指掃描電鏡成像時,樣品圖像與實際樣品尺寸之間的比例。放大倍數越大,觀察到的樣品細節越細致,通常可以達到數十萬至數百萬倍的放大倍數。
加速電壓:是指掃描電鏡中電子束加速的電壓,它會影響掃描電鏡成像的深度、分辨率和亮度等性能。加速電壓越高,成像深度越淺,但是分辨率越高,亮度也越高。一般掃描電鏡的加速電壓范圍在幾百伏至數十千伏之間。
探針電流:是指掃描電鏡中聚焦電子束的電流強度。探針電流的大小與掃描電鏡成像的深度和分辨率有關。通常情況下,探針電流的值會影響掃描電鏡成像的信噪比和灰度等性能。
工作距離:是指掃描電鏡中探針與樣品表面之間的距離。工作距離的大小與成像深度、聚焦情況和探針電流等參數有關。
除此之外,掃描電鏡還有一些其他的參數,如掃描方式、探針尺寸、光學系統等,這些參數也會影響到掃描電鏡的成像性能和實驗效果。在使用掃描電鏡時,需要根據實際需求選擇適當的參數,以達到高質量的成像效果。
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作者:澤攸科技
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